传感技术联合国家重点实验室成立于1987年。实验室面向国家重大需求、国民经济主战场和世界科技前沿，将基础微电子和微机械加工技术的传感器与微系统作为主要研究方向，开展基础性、战略性、前瞻性的研究工作。实验室长期致力于提高我国传感技术的自主创新能力和国际竞争力，推动我国传感技术应用和产业的发展，为国民经济建设服务，并成为我国传感技术的研究基地和高素质、高水平传感技术人才的培养基地。 

传感技术联合国家重点实验室（北方基地）依托于中国科学院电子学研究所，具有电子学、化学、材料科学、信息技术、生物技术、纳米技术等多学科交叉的综合优势，建立起一个以MEMS技术和器件为基础的综合研发平台，研制出电场传感器、谐振式压力传感器、气象传感器、电化学地震检波器、光纤声传感器等高性能物理量传感器；在气体传感器、水环境监测微传感器等化学量传感器和神经信息检测、低成本便携式生化快速检测等生物量传感器方面取得重大进展，获得国家发明二等奖；在SPR 生化分析仪、离子迁移谱仪、微型气相色谱仪、集成光表界面原位分析仪、可穿戴式健康监护设备等仪器仪表系统方面突破多项关键技术，实现了多项技术转让；在加工工艺、敏感材料、信息处理、系统集成、传感器测试等方面积累了丰富的工作经验和人才资源。 

实验室现有面积4400平方米，包括1000平米净化室，室内拥有一条完整的微电子机械系统（MEMS）加工工艺线，能够进行双面光刻、各向同性及异性腐蚀、反应离子深刻蚀、Si-Si键合、 Si-玻璃键合、准LIGA加工、PDMS“铸造”微器件、真空封装等。净化室内还拥有PECVD、LPCVD、射频溅射、电子束蒸发等大型镀膜装置、以及高温扩散炉、退火炉，激光划片机、激光修阻仪、金丝球压焊机、可编程抛光机、半导体参数测试仪、台阶仪、应力测试仪等。实验室于2012年还新进一批薄膜表征设备，包括：扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、全内反荧光显微镜(TIRF)、宽光谱椭圆偏振仪、共聚焦显微镜、拉曼光谱仪等。基于这些先进的仪器设备，实验室不仅能够满足内部人员的日常科研工作，还对外承接器件加工、封装、测试等业务。